硅片拋光機(jī)要設(shè)法得到最大的拋光速率,以便盡快除去磨光時(shí)產(chǎn)生的損傷層。同時(shí)也要使拋光損傷層不會(huì)影響最終觀察到的組織,即不會(huì)造成假組織。前者要求使用較粗的磨料,以保證有較大的拋光速率來去除磨光的損傷層;后者要求使用最細(xì)的材料,使拋光損傷層較淺,但拋光速率低,需要調(diào)整好拋光頭與工作臺(tái)面的距離。以達(dá)到最好的接觸效果,拋出最好的效果。拋光過程中可以使用手工打蠟,以降低機(jī)器制作成本。
硅片拋光機(jī)還可以拋光曲面的,潔具、五金把手在拋光過程中要求比較高,所以拋光機(jī)的質(zhì)量也很重要。工件的多少和重量和工件的體型有及到的關(guān)系,所以工件慢慢放入到增加,倒工件旋轉(zhuǎn)減慢,但是不可以工件不動(dòng),當(dāng)工件不動(dòng)旋轉(zhuǎn)時(shí),拋光出來的產(chǎn)品液將不均勻,拋光時(shí)間也會(huì)隨之不必要的加長(zhǎng)。 操作要點(diǎn):進(jìn)行硅片拋光機(jī)拋光前,一定要將工件的表面油垢清理,拋光液是無法去除大量的油垢的,否則工件,拋光針,水,拋光桶將可能發(fā)黑。清理拋光針、拋光桶時(shí)必須要使用清洗液。
在工程設(shè)備中已有逐步取代部分金屬零件之勢(shì),但陶瓷材料也有一個(gè)明顯的缺點(diǎn),就是脆性大不易雙面研磨機(jī)切削加工。目前在工程陶瓷材料的應(yīng)用上,大多是一些成型的零件,在陶瓷材料的雙面研磨機(jī)加工中,以平面切削加工較為成熟。由工程陶瓷材料所制成的零件中,大都是通過雙面研磨機(jī)去壓制燒結(jié)而成的,主要加工面大都為平面,平面的切削加工主要是以單面磨削為主,但有些陶瓷零件需要雙面研磨機(jī)同時(shí)磨削加工,以保證零件的質(zhì)量要求。
雙面研磨機(jī)內(nèi)部附帶的研磨劑是磨料和水或油等組成的混合物。根據(jù)工件硬度和加工余量,可選用不同規(guī)格的磨料。磨科按其來源可以分為天然磨料和人造磨料。天然磨料包括金剛石、剛玉、石榴石等。人造磨料有人造金剛石、人造剛玉、碳化硅、磁化硼等。
剛玉系氧化鋁(Al2O3)的結(jié)晶體,天然剛玉的比重在3.9—400之間,人造剛玉比重在3.2—4.0之間,氧化鋁具有較大的韌性,維氏硬度約為2000以上。